性能出色
的螺杆设计,钟形悬臂结构,荣获利的自平衡螺杆,出色的运行品质,集成罗茨泵,非常适用于 load lock 腔和传送腔、计量、平版印刷术、物理气相沉积以及快速热退火等应用
高效
拥有成本低,维护少,保养间隔长,正常运行时间长,直接水冷却
结构紧凑
密闭式设计,直联的罐装电机
TECHNICAL DATA | COBRA BC 0600 F |
---|---|
额定抽速 | 520 m³/h |
极限压力 | 0.003 hPa (mbar) |
前级泵电机额定功率 | 1.5 kW |
罗茨真空泵电机额定功率 | 4.0 kW |
功耗(怠速模式) | 1.1 kW |
极限压力时的功耗 | 2.1 kW |
前级泵电机额定转速 | 3000 min⁻¹ |
罗茨真空泵电机额定转速 | 3000 min⁻¹ |
噪声级(ISO 2151) | 62 dB(A) |
耗水量 | 3.0 l/min |
氮气消耗量 | 0 – 50 l/min |
重量(约) | 315 kg |
尺寸(L x W x H) | 933 x 354 x 694 mm |
进气口 | DN 63 ISO–K |
排气口 | DN 40 ISO–KF |
Busch电机7AA90S 04B14
Busch油分配器0531-000-002
Busch真空泵油过滤器0531000002
Busch.0524108652
Busch真空泵SV1008 C1000
Busch真空泵R5A0040E
Busch真空泵RA0016C
Busch真空泵SV1025 cooo
Busch真空泵R5-0063
Busch真空泵SV1025C
Busch泵RA0100F
Busch真空泵RA016D
Busch真空泵RA0302 D 561 CUXX NO.C1126000551
Busch真空泵R5-RA3020D 300m3/hr 7.5kw
Busch真空泵R50063F Ex
Busch泵SV1040CO0OINZZ
Busch真空泵RA0100 F 503 S/N:D15450588
Busch鼓风机SB 1400 D OHO UK XX
Busch泵R5 RA0160-0302 D
BUSCH油过滤器531000001